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三氟化氯（chlorine trifluoride）是无机化合物 ，，，，，分子式为ClF?，，，，，分子量为92.45。。。有毒，，，，，有强侵蚀性，，，，，常温下为无色气体，，，，，降温变为绿色液体。。。

可用作氟化剂、燃烧剂、推进剂中的氧化剂、高温金属的切割油等。。。在半导体工业中，，，，，三氟化氯被用于清洁化学气相沉积的反应舱。。。它具有不需拆卸反应舱就可以扫除舱壁附着的半导体物质这一优点。。。与其它取代的清洁剂差别，，，，，三氟化氯在使用前不需经由等离子体激化，，，，，由于反应舱剩余的热量就足以使它剖析并与半导体质料反应。。。