

Ðû²¼Ê±¼ä£º2021-07-14 | ÓÎÀÀ£º4572
ÄÚÈÝÕªÒª£ºÌØÆø¹ñGas CabinetÊÇרΪÒ×ȼÒ×±¬¡¢ÇÖÊ´ÐÔ¡¢¶¾ÐÔµÈΣÏÕÐÔÆøÌ幩Ӧ¶øÉè¼ÆµÄ¹©Ó¦ÏµÍ³£¬£¬°´ÖÖ±ð¿É·ÖΪ£ºÈ«×Ô¶¯¡¢°ë×Ô¶¯ºÍÊÖ¶¯²Ù×÷¡£¡£»£»£»ù±¾¹¦Ð§°üÀ¨×Ô¶¯´µÉ¨¡¢×Ô¶¯Çл»ÒÔ¼°½ôÆÈÇéÐÎϵÄ×Ô¶¯Çå¾²Çжϣ¨µ±É趨±¨¾¯Ðźű»´¥·¢Ê±£©¡£¡£
GCÌØÆø¹ñ£¨Gas Cabinet£©ºÍGRÌØÆø¼Ü£¨Gas Rack£©µÄ¹¦Ð§Éè¼Æ
ÌØÆø¹ñGas CabinetÊÇרΪÒ×ȼÒ×±¬¡¢ÇÖÊ´ÐÔ¡¢¶¾ÐÔµÈΣÏÕÐÔÆøÌ幩Ӧ¶øÉè¼ÆµÄ¹©Ó¦ÏµÍ³£¬£¬°´ÖÖ±ð¿É·ÖΪ£ºÈ«×Ô¶¯¡¢°ë×Ô¶¯ºÍÊÖ¶¯²Ù×÷¡£¡£»£»£»ù±¾¹¦Ð§°üÀ¨×Ô¶¯´µÉ¨¡¢×Ô¶¯Çл»ÒÔ¼°½ôÆÈÇéÐÎϵÄ×Ô¶¯Çå¾²Çжϣ¨µ±É趨±¨¾¯Ðźű»´¥·¢Ê±£©¡£¡£
È«×Ô¶¯Æø¹ñͨ¹ý½ÓÄÉPLC¿ØÖÆ£¬£¬´¥¿ØÆÁΪÈË»ú½çÃæ£¬£¬Í¨¹ý×°±¸×°ÖõÄѹÁ¦´«¸ÐÆ÷¡¢Æø¶¯·§¡¢¹ýÁ÷Á¿¼ÆµÈ×°Ö㬣¬ÊµÏÖ×°±¸Çå¾²ÓÐÓõÄÔËÐС£¡£ÆäÄÚ²¿PLC³ÌʽÉè¼ÆµÄÇå¾²ÁªËø¹¦Ð§ºÍ¸ß´¿·§¼þµÄºÏÀíÑ¡ÔñºÍ½á¹¹£¬£¬¼ÈÖª×ãÁ˰뵼Ì幤ÒÕÉú²úÀú³ÌÖжÔÌØÊâÆøÌåÒ»Á¬¹©Ó¦ºÍ¸ß´¿¶ÈµÄÒªÇ󣬣¬Í¬Ê±Ò²È·±£Á˹¤³§Õý³£Éú²úºÍÔ±¹¤ÈËÉíÇå¾²¡£¡£ÏÂÃæÓɸÇ˹ÅÁ¿ËΪ¸÷È˼òÆÓÏÈÈÝÒ»ÏÂGCÌØÆø¹ñ£¨Gas Cabinet£©ºÍGRÌØÆø¼Ü£¨Gas Rack£©µÄ¹¦Ð§Éè¼Æ¡£¡£

ÌØÆø¹ñ/¼Ü£¬£¬VMB/VMP¼ò½é
GC¡ªGas Cabinet ÆøÆ¿¹ñ(ÓÃÓÚΣº¦ÐÔÆøÌå) GR¡ªGas Rack ÆøÆ¿¼Ü(ÓÃÓÚΣº¦ÐÔÆøÌå)
VMB¡ªValve Manifold Box ·§ÃÅÏä(ÓÃÓÚΣº¦ÐÔÆøÌå) VMP¡ªValve Manifold Panel ·§ÃÅÅÌ(ÓÃÓÚΣº¦ÐÔÆøÌå) ÌØÆø¹ñºÍVMBÖ÷ÒªÓÃÓÚÒ×ȼÒ×±¬ÇÖÊ´Óж¾µÈΣº¦ÐÔÆøÌ壬£¬¶øÆøÆ¿¼ÜºÍVMPÒ»Ñùƽ³£ÓÃÓÚ·ÇΣº¦ÐÔÆøÌ壻£»£»Ö÷񻂿±ðÔÚÓÚ£¬£¬ÌØÆø¹ñºÍVMB¶¼ÒªÓÐÒ»¸öÍâ¿ÇÉÏÓгé·ç¹Ü£¬£¬µ±±¬·¢Ð¡Ð¹Â¶µÈΣÏÕÇéÐÎʱ¿É½«´ËÀàÆøÌåÇãÔþÈ¥×èÖ¹À©É¢±¬·¢¸ü´óΣÏÕ¡£¡£

Gas Cabinet / Gas Rack ÌØÆø¹ñ/ÆøÆ¿¼Ü/ÌØÆøÅÌÃæ : ¹¦Ð§Éè¼Æ
¿É·ÖΪµ¥¸ÖÆ¿(1process)/ Ë«¸ÖÆ¿( 2 Process ) / Èý¸ÖÆ¿(2 Process + 1 N2) ÆøÆ¿¹ñÄÚµÄ¸ÖÆ¿ÊýÉè¼Æ¿É·ÖΪÈýÖÖ£º»®·ÖΪµ¥¸ÖÆ¿¡¢Ë«¸ÖÆ¿¡¢Èý¸ÖÆ¿¡£¡£
£¨1£©µ¥¸ÖµÄÉè¼ÆÍ¨³£Ê¹ÓÃÓÚÑо¿»ú¹¹»òʵÑéÊҵȡ£¡£¹¤ÒÕÖÆ³ÌÉÐδÓÐÁ¿²ú£¬£¬ÆøÌåʹÓÃÁ¿Ð¡£¬£¬ÏÖ³¡
¿ÉËæÊ±Ðµ÷½â»£»£»ú¾ÙÐÐ¸ÖÆ¿Ö®Ìæ»»£¬£¬ÆäÓŵã½ÚÔ¼¿Õ¼ä¡¢±¾Ç®µÍ¡¢µ«Ðè͸¹ýÒ»Ñùƽ³£Ö®ÖÎÀíÓëе÷ÒÔÃâÖÐÖ¹¹¤ÒÕÖÆ³ÌÔì³ÉËðʧ¡£¡£
£¨2£©Ë«¸ÖÓëÈý¸Ö³£ÓÃÓÚÁ¿²ú¹¤³§£¬£¬¹¤ÒÕÖÆ³Ì²»ÔÊÐíÍ£»£»£»úÇéÐΣ¬£¬µ±Ò»Ö§¸ÖƿʹÓÃÍêºó£¬£¬ÁíÒ»Ö§±¸
ÓÃ¸ÖÆ¿£¨stand by£©»á×Ô¶¯×ªÎª¹©Æø£¬£¬´ËÁ½ÖÖÐÎʽ×î´óµÄ²î±ðÊÇÔÚpurge¹Ü·µÄ´¿»¯µªÆøÊÇÒÔ¸ÖÆ¿»ò³§Îñ¶Ë¹©Ó¦£¬£¬µ±purgeÓõÄPN2ͳһÓɳ§Îñ¶ËÀ´¹©Ó¦Ê±£¬£¬ËùÓÐÌØÊâÆøÌ幩Ӧϵͳ²»¹ÜÊÇ·ñÏàÈÝ£¬£¬ËùÓÐÅþÁ¬µ½Í³Ò»¸ö¹©Ó¦Ô´£¬£¬»áÓнϸߵÄΣº¦Öµ£»£»£»ÍòÒ»ÖÐÑ빩ӦϵͳµÄPN2ÖÐÖ¹£¬£¬¾¯±¨ÏµÍ³ÓÖË𻵣¬£¬Ç¡ÇÉÁ½ÖÖ²»ÏàÈÝµÄÆøÌåͬʱʹÓÃpurge£¬£¬´Ëʱ¼«ÓпÉÄܱ¬·¢±¬Õ¨µÄÊÂÎñ±¬·¢£¬£¬ÏàͬÐÔ×Ó¿ÉʹÓÃͳһƿ¸ÖÆ¿À´purgeÔöÌíµÄ±¾Ç®¼°¿Õ¼äºÜÊÇÓÐÏÞ£¬£¬ÊÇÒ»ÖÖºÜÊǺõÄÓ¦±ä·½·¨¡£¡£
£¨3£©Èý¸ÖÆø¹ñ±¾Ç®²»»á²îÐí¶àÇå¾²ÐÔ»áÊÇ×îºÃµÄ£¬£¬Ö»Òª¿Õ¼äÔÊÐíÓ¦×îÓÅÏÈÑ¡Ôñ¡£¡£
±¾ÆªÄÚÈÝȪԴÓÚÍøÂ磬£¬ÈôÓÐÇÖȨ£¬£¬ÇëÁªÏµÉ¾³ý
ЧÀÍÈÈÏߣº
°æÈ¨ËùÓÐ
333ÌåÓýÁªÏµµØµã£º
¸£½¨Ê¡ÁúÑÒÊÐÉϺ¼ÏØòÔÑóÕòòÔÑó¹¤Òµ¼¯ÖÐÇø¹¤ÒµÂ·6ºÅ
Ãö¹«Íø°²±¸ 35082302000172ºÅ
ÃöICP±¸2021002793ºÅ-1